поиск оборудования
Магниторазрядные насосы Agilent
С конца 1950-х годов, когда магниторазрядные насосы были разработаны фирмой Agilent, в них было внесено много изменений и сделаны значительные технические улучшения. Фактически, и в дальнейшем большая часть новшеств была предложена специалистами фирмы Agilent, начиная с первой диодной схемы ионного насоса, затем триодная схема с её наиболее эффективной запатентованной модификацией StarCell, а так же семейство насосов VacIon Plus.
Модели магниторазрядных насосов
 |
VacIon Plus 0,4 Diode, Скорость откачки (N2) 0,4 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр VacIon Plus 2 Diode, Скорость откачки (N2) 2 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |
 |
VacIon Plus 8 Diode, Скорость откачки (N2) 8 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |  |
VacIon Plus 20 StarCell, Скорость откачки (N2) 27 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |
 |
VacIon Plus 40 StarCell, Скорость откачки (N2) 40 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |  |
VacIon Plus 55 StarCell, Скорость откачки (N2) 55 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |
 |
VacIon Plus 75 StarCell, Скорость откачки (N2) 75 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |  |
VacIon Plus 150 StarCell, Скорость откачки (N2) 150 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |
 |
VacIon Plus 300 StarCell, Скорость откачки (N2) 300 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |  |
VacIon Plus 500 StarCell, Скорость откачки (N2) 500 л/сек, Предельное давление ниже 10-11 Торр |
Модели контроллеров магниторазрядных насосов
 |
Контроллер 4UHV управляет до четырех магниторазрядными насосами модели VacIon Plus Новый контроллер 4UHV предназначен для управления одновременно сразу четырмя магниторазрядными насосами серии VacIon Plus Diode, Noble Diode и StarCell и скоростью откачки от 20 до 500 л/сек. Большой четырехстрочечный LCD экран отображает одновременно напряжение, ток и давления четырех работающих магниторазрядных насосов. |
Разнообразное меню и встроенный интерфейс RS 232 контроллера 4UHV позволяет оперативно и качественно следить за работой насосов VacIon Plus. Возможно подключения датчиков давления для отображения на экране глубины вакуума.
 |
Контроллер MiniVac для магниторазрядных насосов серии VacIon Plus Контроллер MiniVac – экономный вариант для использования упралвения магниторазрядными насосами серии VacIon Plus типа Diode, Noble Diode и StarCell и скоростью откачки от 20 до 500 л/сек. Очень компактный и легкий, также может быть вмонтирован в стойку Rack. Самые маленькие насосы VacIon Plus (от 0,4 до 8 л/сек) могут быть подключены при давлении ниже 1 x 10-5 мбар (непрерывное колебание) |
Средние насосы VacIon Plus (от 20 до 75) могут быть подключены при давлении ниже 1 x 10-5 мбар (непрерывное колебание)
Большие насосы VacIon Plus (от 150 до 500) могут быть подключены при давлении ниже 2 x 10-6 мбар (непрерывное колебание)
Контроллер MiniVac специально разработаны для выдерживания непрерывного колебания при коротком замыкании, без повреждений для магниторазрядного насоса или самого себя
 |
Контроллер TSP управляет титаново-сублимационным насосом с нитью нагрева или с нитью Ti-Ball Контроллер TSP – компактен с возможностью встраивания в стойку Rack Выбор автоматической или ручной работы Различные интерфейсы RS 232/422/485 Предназначен для работы с источниками с нитью нагрева или источником Ti-Ball |
Магниторазрядные насосы
| Входной фланец | Тип | Скорость откачки | Макс. стартовое давление | Макс. температура отжига | Вес, кг | |
| VacIon Plus 0,4 | 3/8" OD | Diode | 0,4 л/сек (N2) | 1 x 10-4 мбар | 150 °C | 0,3 |
| VacIon Plus 2 | 3/4" OD | Diode | 2 л/сек (N2) | 1 x 10-4 мбар | 150 °C | 0,3 |
| VacIon Plus 8 | 2 3/4" CFF | Diode | 8 л/сек (N2) | 1 x 10-4 мбар | 350 °C | 4 |
| VacIon Plus 20 | 2 3/4" CFF | StarCell Noble Diode Diode |
20 л/сек (N2) 22 л/сек (N2) 27 л/сек (N2) |
5 x 10-2 мбар 1 x 10-3 мбар 1 x 10-3 мбар |
350 °C | 7 |
| VacIon Plus 40 | 2 3/4" CFF | StarCell Noble Diode Diode |
34 л/сек (N2) 36 л/сек (N2) 40 л/сек (N2) |
5 x 10-2 мбар 1 x 10-3 мбар 1 x 10-3 мбар |
350 °C | 17 |
| VacIon Plus 55 | 4 1/2" CFF | StarCell Noble Diode Diode |
50 л/сек (N2) 53 л/сек (N2) 55 л/сек (N2) |
5 x 10-2 мбар 1 x 10-3 мбар 1 x 10-3 мбар |
350 °C | 18 |
| VacIon Plus 75 | 6" CFF | StarCell Noble Diode Diode |
65 л/сек (N2) 68 л/сек (N2) 75 л/сек (N2) |
5 x 10-2 мбар 1 x 10-3 мбар 1 x 10-3 мбар |
350 °C | 19 |
| VacIon Plus 150 | 6" CFF | StarCell Noble Diode Diode |
125 л/сек (N2) 135 л/сек (N2) 150 л/сек (N2) |
5 x 10-2 мбар 1 x 10-3 мбар 1 x 10-3 мбар |
350 °C | 43 |
| VacIon Plus 300 | 8 " CFF | StarCell Noble Diode Diode |
240 л/сек (N2) 260 л/сек (N2) 300 л/сек (N2) |
1 x 10-2 мбар 1 x 10-3 мбар 1 x 10-3 мбар |
350 °C | 69 |
| VacIon Plus 500 | 8 " CFF | StarCell Noble Diode Diode |
410 л/сек (N2) 440 л/сек (N2) 500 л/сек (N2) |
1 x 10-2 мбар 1 x 10-3 мбар 1 x 10-3 мбар |
350 °C | 120 |
| Предельное давление всех моделей магниторазрядных насосов составляет ниже 10-11 мбар | ||||||
Комбинированные насосы
| Номинальная скорость откачки при 20 °С на базе магниторазрядногонасоса в конфигурации StarCell (водяное охлаждение криопанели) | Азот (N2) | Водород (H2) |
| VacIon Plus 150 в комбинации с титаново-сублимационной панелью | 610 л/с | 1380 л/с |
| VacIon Plus 300 в комбинации с титаново-сублимационной панелью | 720 л/с | 1580 л/с |
| VacIon Plus 500 в комбинации с титаново-сублимационной панелью | 880 л/с | 1930 л/с |
Контроллер 4UHV для магниторазрядных насосов серии VacIon Plus
| Входное напряжение | от 90 до 130 В или от 180 до 265 В |
| Входная частота | от 47 до 63 Гц |
| Размеры | высота - 177 мм, ширина - 211,4 мм, длина - 440 мм |
| Дисплей | четырехстрочечный LCD экран |
| Минимальная конфигурация | Один высоковакуумный ввод, Set Point, Remote Control Card |
| Максимальная конфигурация | Четыре высоковакуумных ввода, Set Point, Remote Control Card, интерфейс RS 232, интерфейс для подключения датчиков Eyesys Mini Ba или Eyesys ConvecTorr |
| Выходное напряжение | программируемое между ± 3000 В и ± 7000 В |
| Выходной ток | Программируемый между 100 и 400 мА |
| Мощность | Программируемая между 100 и 400 Вт |
| Чтение параметров на экране | Выходное напряжение, давление(Па, мбар, Торр), Ток |
Контроллер MiniVac для магниторазрядных насосов серии VacIon Plu
| Входное напряжение | от 90 до 130 В или от 180 до 240 В или 24 В |
| Выходное напряжение | ± 5000 В |
| Выходной ток | 15 мА |
| Выходная мощность | 21 Ватт (при 3 кВ и 7 мА) |
| Передняя панель | HV ON, HIGH LOAD и POLARITY LEDs |
| Линейная шкала индикации тока и напряжение | |
| Задняя панель | 9-пин конектор со следующими сигналами и командами записи на выходе: |
| 0 до + 5 В, линейный пропорциональный до HV (1 В = 1 кВ) | |
| 0 до + 10 В, линейный пропорциональный до тока (10 В = 10 мА) | |
| 0 до + 10 В, линейный пропорциональный до тока (10 В = 1 мА) | |
| HV ON сигнал подтверждения : Максимальная допустимая мощность - 1 А - 250 В; 0,2 А - 30 В | |
| Remote HV ON/OFF - интерлок |
Магниторазрадяные насос модели VacIon Plus - это завершённая (полная) линейка ионных насосов, контроллеров, опций и дополнительных принадлежностей, разработанная для обеспечения потребностей промышленности и науки. Такие параметры, как рабочий диапазон давления, состав откачиваемой смеси газов и максимальное стартовое давление насоса могут варьироваться настолько значительно, что один ионный насос не может стать наилучшим решением в каждом конкретном случаем. Это является основной причиной, почему не существует "общего " ионного насоса и для каждого приложения необходимо подбирать насос с подходящими характеристиками. В добавление, существует необходимость в "целостном решении " по ионной откачке, которое включает в себя: контроллер, различные опции и дополнительные принадлежности для обеспечения всех требований приложения.
Модели магниторазрядных насосов VacIon Plus включает версии с ячейками Diode, NobleDiode и StarCell, а также контроллеры MiniVac, MidiVac и Dual. Для увеличения скорости откачки разработаны комбинационные титано - сублимационные насосы (TSP).
Насос серии StarCell™.
Насосы серии StarCell являются последней разработкой среди насосов триодной конфигурации. Благодаря своей запатентованной конструкции данный насос является единственным, который обеспечивает откачку большого количества инертных газов (лучше, чем Noble Diode) и водорода (сравнимого с насосами серии Diode). Более того, насосы серии StarCell обеспечивают наилучшую скорость и газовую нагрузку при откачке метана, аргона и гелия. Его способность поглощать большие количества для разных газов, вместе с его высокой производительностью при относительно высоком давлении делает использование насоса серии StarCell идеальным для приложений, требующих постоянной работы при давлении 10-8 мбар или выше.
Насос серии Noble Diode.
Данная серия является версией серии Diode, в которой одни титановый катод заменен танталовым. Данная замена позволяет увеличить производительность при откачке благородных газов (главным образом, аргона и гелия).Во всем остальном серия Noble Diode аналогична серии Diode. Насосы серии Noble Diode используются в приложениях, где важна эффективная откачка инертных газов. Благодаря диодной конфигурации насосы серии Noble Diode сохраняют постоянной скорость откачки для всех газов при очень низких давлениях. Однако скорость откачки водорода и адсорбирующихся газов ниже, чем у соответствующего насоса серии Diode.
Насос серии Diode.
Серия Diode семейства насосов обеспечивает наивысшую производительность среди всех ионно-геттерных насосах при откачке кислорода, азота, диоксида углерода (СО2), моноксида углерода (СО) и других адсорбирующихся газов. Также он обеспечивает наивысшую скорость откачки по водороду.Его простая механическая конструкция позволяет надежно измерять давление при глубоком вакууме, при этом он абсолютно не имеет вибраций. Геометрия конструкции и электрическая конфигурация позволяют использовать его вблизи электронных детекторов или других подобных устройств.
Насосы семейства VacIon Plus имеют номинальный ресурс работы в плановом режиме при давлении 10-6 Торр несколько десятков тысяч часов (50 000 часов для насоса Diode и 80 000 часов для насоса серии StarCell). Многие ионные насосы иных производителей требуют техобслуживания до их номинальной долговечности, так как происходит металлизация изоляторов и искривление откачивающих элементов. Все элементы семейства насосов VacIon Plus разработаны с целью минимизировать искривление катода (даже после повторяющихся отжигов и начала работы при высоком давлении), и изоляторы защищены от оседания распыленных титановых атомов благодаря использованию замкнутого дизайна и защитному экрану. Благодаря прямой зависимости между ионным током и рабочим давлением возможно непосредственно ионно-геттерным насосом измерять давление. Надежность полученного значения давления при очень низком давлении ограничена током утечки. Ток утечки из области эмиссии очень сильно зависит от подаваемого в насос напряжения.
Комбинированные насосы
Комбинированные магниторазрядные насосы с дополнительной титано-сублимационной панелью в течение многих лет являются надежным и популярным средством для получения сверхвысокого вакуума. Возгонка титана создает газ со сверхвысокой поглощающей способностью (благодаря высокой химической активности титана), в то время как ионный механизм позволяет эффективно откачивать инертные и не поглощаемые газы, такие как аргон и метан. Данные насосы представляют собой комбинацию насосов VacIon Plus 150, 300 или 500 с внешним 8 дюймовым портом, монтируемым снизу или сбоку. Сублимационная криопанель содержит источник титана (титановая нить накаливания), который монтируется в дополнительный порт. Поглощаемые газы попадают в цилиндрическую криопанель, где они откачиваются, вступая в реакцию со свежеосажденным титановым
Жидкий азот охлаждает криопанель, увеличивая эффективность процесса газопоглощения и значительно увеличивая скорость откачки паров воды. Серия насосов VacIon Plus позволяет присоединять криопанель снизу или сбоку. Это является значительным преимуществом в ситуациях, когда существуют ограничения по высоте насоса. Также возможна нестандартная конфигурация ионно -сублимационного насоса по требованию заказчика.
Титаново-сублимационная криопанель
Криопанель разработана для охлаждения источников насоса TSP, сублимационная криопанель монтируется на фланец CFF 8 ". В качестве охлаждения могут быть использованы: вода, жидкий азот, или другой жидкое состояние, которое используется в сверхвысоковакуумных системах.
Титаново-сублимационные насосы
Титаново-сублимационный насосы серии TSP используются для откачки геттерных газов таких как Водород и Азот в сверхвысоковакуумных системах. Насосы TSP чаще всего комбинируются с магниторазрядными насосами серии VacIon Plus 150, 300 и 500, в свою очередь ионные насосы эффективны для откачки не геттерных газов таких как Аргон и Метан. TSP могут быть встроены внутрь магниторазрядного насоса или использоваться как отдельно стоящим блоком.
Если TSP использовать совместно с жидкостным или азотоохлажденной криопанелью, то увеличивается эффективность процесса газопоглощения и значительно увеличивая скорость откачки паров воды. Фирма Varian разработала два различных типа титаново-сублимационного насоса с использованием источника с нитью нагрева или источником типа Ti-Ball. Источник с нитью нагрева является самым популярным в сверхвысоковакуумных системах, т.к. его можно разворачивать между сублиматором и таким образом не происходит термальной дегазации. Источник Ti-Ball содержит большее количество титана, поэтому срок службы данного насоса будет дольше и достигать более высокого вакуума. Однако источник Ti-Ball требует резервной мощности, чтобы предотвратить разрушения формы "шарика".
Исследования и разработки
В этих установках электрически заряженные частицы (электроны для получения синхротронных источников света или ионы для ускорителей частиц) вынуждены следовать по криволинейной траектории в кольце, которое называют накопительным. Заряженные частицы в течение нескольких часов циркулируют в этом кольце при постоянной энергии в среде высокой степени вакуума. Прежде чем частицы попадут в накопительное кольцо, они должны получить ускорение внутри системы впрыска, состоящей из одного или двух ускорителей (линейного ускорителя и бустерного синхротрона). Все частицы, следующие вдоль своего пути в установке (электроны или ионы), должны циркулировать внутри вакуумной камеры. В противном случае они соударяются с молекулами воздуха и будут быстро поглощены.
Заряженные частицы попадают в первый высокочастотный резонатор, который ускоряет их и в то же время группирует в партии. Затем они ускоряются последовательностью высокочастотных резонаторов вдоль всей длины линейного ускорителя. Вакуум внутри линейного ускорителя может создаваться насосами VacIon Plus компании Agilent с производительностью от 20 до 70 л/с.
Заряженные частицы, получившие ускорение в линейном ускорителе, получают дополнительное ускорение в бустерном синхротроне. Ускорение производится высокочастотными резонаторами, сквозь которые частицы проходят много раз, всякий раз приобретая дополнительную энергию. Достигая уровень максимальной энергии, пучок частиц переходит из бустерного синхротрона в накопительное кольцо. Вакуум в бустерном синхротроне обычно создается небольшими насосами. Насосы VacIon Plus компании Agilent прекрасно справляются с этой задачей.
Заряженные частицы циркулируют внутри накопительного кольца при постоянной энергии. При движении вдоль кольца частицы проходят изогнутые и прямые участки. Накопительное кольцо помещено внутри туннеля с толстыми бетонными стенами с целью удержания радиации в случае потери пучка.
В этой части установки абсолютно необходим сверхвысокий вакуум, поскольку частицы перемещаются через накопительное кольцо в течение нескольких часов. Чем меньше остаточного газа, тем более сфокусированным остается пучок. Для этих целей используются крупногабаритные насосы VacIon Plus компании Agilent, имеющие производительность в диапазоне 300-500 л/с.
К периферийному оборудованию относится трубопровод, который транспортирует в вакууме частицы из зоны извлечения в канал синхротронного излучения вне туннеля кольца. Здесь находится прерыватель пучка, а также устройства, изолирующие вакуум кольца от синхротронного канала, который обычно находится при более низком давлении. В этой части установки, как и для накопительного кольца, можно использовать крупногабаритные насосы Agilent.
Экспериментальный зал, находящийся вокруг накопительного кольца, содержит синхротронные пучки, расположенные по касательной к кольцу. Эти пучки обычно используются в разных областях исследований (биология, полимеры и магнетизм) или в экспериментах (дифракция, мессбауэровская спектроскопия и формирование изображений). Некоторые наиболее длинные пучки формируются за пределами экспериментального зала. В этой части обычно используются крупногабаритные насосы производительностью от 300 до 500 л/с. Они могут сочетаться с титаново-сублимационными насосами и криопанелью для откачки даже самых легких молекул.
Некоторые проекты в области фундаментальных исследований, в которых используется наиболее чувствительное оборудование (требующее сверхвысокого вакуума без механических колебаний), могут использовать насосы VacIon Plus компании Agilent. Новые детекторы гравитационных волн (ДГВ), такие как VIRGO в Италии и LIGO в США, используют насосы компании Agilent для получения и поддержания требуемого вакуума.
Диодные насосы РЭМ с очень низким током утечки идеально подходят для секции пушки колонны.
